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            Bronkhorst 流量計M16210402B技術參數
            點擊次數:1301 更新時間:2020-11-12

            Bronkhorst M16210402B F-201CV-1K0-TAD-88-Z

             

             7.10.019 F-201CV / F-211CV質量流量控制器
            替換M16210402B
            型號型號:F-201CV-1K0-TAD-88-X
            產品系列產品系列:EL-FLOW選擇
            保護等級防護等級:IP-40
            材質:SS 316L
            多流體多范圍:停用
            介質:SiH4(硅烷)
            流量范圍:10 ... 500 sccm
            精度精度:滿量程的±0.5%實際值加值的±0.1%終值(基于校準期間的條件)
            校準證書校準證書:3點校準
            入口壓力(P1):1.5 ... 2.5 bar(g)(已校準2 bar(g))
            出口壓力(P2):0 bar(g)
            閥功能閥功能:常閉常閉
            噴嘴:0.30毫米
            溫度溫度:20°C
            密封件:Viton 51415
            柱塞:Kalrez 6375
            入口連接入口連接:1/4“外螺紋真空接頭
            出口連接出口連接:1/4“外螺紋真空接頭
            輸出信號輸出信號:EtherCAT 0 ... 100%(0 ... 5 V)
            設定值型號設定值信號:EtherCAT 0 ... 100%(0 ... 5 V)
            電壓電源:+15 ... 24 Vdc

             

            Bronkhorst流量計常用型號:
            F-201AV-50K-ABD-00-V
            F-201AV-50K-AGD-33-E
            F-201EV-PAD-88-X
            F-201CV-500-PAD-88-E
            F-201CV-10K-PAD-88-V
            F-201CV-2K0-PAD-88-V
            F-201CV-5K0-PAD-88-V
            F-201AV-50K-PAD-88-V
            F-201AV-70K-PAD-88-V
            F-201AV-50K-PAD-88-V
            F-201CV-20K-PAD-88-V
            M14-PAD-B2-0-S
            M13-PAD-82-0-S
            F-201DV-PAD-88-E
            2.04.110 
            C2I-IIU-2B-K
            2.04.110
            C2I-IIU-28-K
            7.20.038
            5.02.004 
            5.02.006
            M14-PAD-88-0-S
            M13-PAD-88-0-S

             

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